华海清科股份有限公司
🏭 公司概况
公司荣获第二十五届中国专利银奖、全国工业和信息化系统先进集体、金牛上市公司科创奖、天津市先进级智能工厂等多项荣誉,入选国家企业技术中心、院士专家工作站、博士后科研工作站等国家级创新平台。
📊 主营业务与产品矩阵
公司主要从事半导体专用装备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品包括CMP装备、减薄装备、离子注入装备、划切装备、边缘抛光装备、湿法装备,以及晶圆再生、关键耗材与维保服务等,基本实现了“装备+服务”的平台化战略布局。公司主要产品及服务已广泛应用于集成电路、先进封装、大硅片、第三代半导体、MEMS、MicroLED等制造工艺。
核心产品系列
| 产品类别 | 核心产品与技术 | 应用领域 |
|---|---|---|
| CMP装备 | Universal系列(Universal-H300、Universal-S300等),累计出机超1000台,占据国产CMP装备销售90%以上份额 | 先进逻辑、先进存储、先进封装、HBM/3D堆叠 |
| 减薄装备 | Versatile系列(GP300、GM300、GH300),累计出机量突破20台 | 先进封装、存储、CIS |
| 离子注入装备 | 12英寸大束流系列全型号覆盖,低温离子注入机iPUMA-LT顺利出机 | 逻辑、存储、功率半导体 |
| 划切装备 | 核心机型已进入多家头部客户开展工艺验证 | 先进封装、晶圆级加工 |
| 边缘抛光装备 | 核心机型进入多家头部客户开展工艺验证 | 先进制程晶圆边缘处理 |
| 湿法装备 | 多台清洗设备完成验证并确认收入,SDS/CDS供液系统获客户批量采购 | 大硅片、化合物半导体清洗 |
🔬 核心技术:CMP装备为基石
公司始终坚持以技术创新为核心驱动力,CMP装备的先进性、稳定性、可靠性深受客户认可。国内主流的12英寸晶圆厂、存储大厂以及先进封装产线已导入公司CMP装备。截至2025年末,公司累计拥有国内外授权专利569项、软件著作权50项,形成覆盖全面、壁垒坚实的知识产权体系。
CMP装备是公司核心产品,先进制程机型出货量增长显著,部分高端机型已在头部客户HBM、3D堆叠等先进封装工艺产线上作为基准设备导入。公司还成功研发出采用叠层布局架构的全新CMP机台Universal-S300以及面向先进封装、玻璃基板等领域面板CMP产品Master-P510和Master-P510APEX。
🌍 客户与市场地位
公司深耕半导体设备领域多年,构建了覆盖国内主流集成电路制造企业的客户网络,客户覆盖中芯国际、华虹集团、长江存储等先进集成电路制造厂商。
在市场份额方面,据SEMI数据推算,2024年全球CMP市场规模约30.2亿美元,预计2027年将突破40亿美元。在国内市场,公司占据国产CMP装备销售90%以上份额,实现了国内主流集成电路制造产线全覆盖。公司部分产能已被核心客户提前锁定,存储及逻辑订单占比较大。
🏗️ 产能布局
公司持续完善全国产能网络,强化装备供给与服务能力:
| 产能项目 | 区位 | 规划规模 | 当前进展 |
|---|---|---|---|
| 上海集成电路装备研发制造基地 | 上海市浦东新区 | 洁净厂房、自动化库房、测试实验室 | 拟投资16.98亿元,2026年启动建设 |
| 晶圆再生(天津基地) | 天津市 | 20万片/月 | 已满产 |
| 晶圆再生(昆山基地) | 江苏省昆山市 | 规划总产能40万片/月 | 首期20万片/月建设中 |
| CMP装备产能储备 | 全国 | 随订单需求灵活调配 | 满足快速交付需求 |
🔭 战略方向
1. 深化平台化战略布局
公司以“装备+服务”双轮驱动,持续推进CMP、减薄、离子注入、划切、边抛、湿法装备的技术升级与规模化量产。重点研发更高产能、更低成本、工艺指标更优的高端机型,在先进制程芯片、HBM、CoWoS等应用场景持续提升市场占有率。
2. 并购整合与产品矩阵延伸
公司通过收购芯嵛公司切入离子注入领域,实现12英寸大束流系列型号全覆盖,中束流系列取得阶段性进展。未来将持续扩大在先进封装领域的产品覆盖,打造3DIC全流程解决方案。
3. 做强服务类业务
依托自有的CMP技术与自产关键设备,公司同步做强关键耗材、维保服务与晶圆再生业务。服务类业务具备高毛利、高粘性特征,通过长期服务沉淀客户信任,进一步反哺设备销售。
4. 深化国际化进程
2026年,公司拟通过向特定对象发行A股股票募集不超过40亿元,投向上海集成电路装备研发制造基地、晶圆再生扩产及高端半导体装备研发三大项目,全面强化核心技术布局与产能供给,助力半导体装备国产化进程提速。
📋 公司关键信息一览
| 关键信息 | 内容 |
|---|---|
| 公司全称 | 华海清科股份有限公司 |
| 股票代码 | 688120.SH(科创板) |
| 成立日期 | 2013年4月10日 |
| 上市日期 | 2022年6月8日 |
| 法定代表人/董事长/总经理 | 王同庆 |
| 注册地址 | 天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号 |
| 所属行业 | 半导体设备 |
| 主营领域 | 半导体专用装备的研发、生产、销售及技术服务 |
| 核心产品 | CMP装备、减薄装备、离子注入装备、划切装备、边缘抛光装备、湿法装备、晶圆再生、关键耗材及维保服务 |
| 员工人数 | 2654人 |
| 电话 | 022-59781962 |
| 邮箱 | ir@hwatsing.com |
