华海清科股份有限公司

🏭 公司概况

  • 成立时间:2013年4月10日

  • 上市时间:2022年6月8日

  • 总部地址:天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号

  • 法定代表人及董事长、总经理:王同庆

  • 员工人数:2654人

  • 行业地位:国内CMP设备龙头企业

公司荣获第二十五届中国专利银奖、全国工业和信息化系统先进集体、金牛上市公司科创奖、天津市先进级智能工厂等多项荣誉,入选国家企业技术中心、院士专家工作站、博士后科研工作站等国家级创新平台


📊 主营业务与产品矩阵

公司主要从事半导体专用装备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品包括CMP装备、减薄装备、离子注入装备、划切装备、边缘抛光装备、湿法装备,以及晶圆再生、关键耗材与维保服务等,基本实现了“装备+服务”的平台化战略布局。公司主要产品及服务已广泛应用于集成电路、先进封装、大硅片、第三代半导体、MEMS、MicroLED等制造工艺

核心产品系列

产品类别核心产品与技术应用领域
CMP装备Universal系列(Universal-H300、Universal-S300等),累计出机超1000台,占据国产CMP装备销售90%以上份额先进逻辑、先进存储、先进封装、HBM/3D堆叠
减薄装备Versatile系列(GP300、GM300、GH300),累计出机量突破20台先进封装、存储、CIS
离子注入装备12英寸大束流系列全型号覆盖,低温离子注入机iPUMA-LT顺利出机逻辑、存储、功率半导体
划切装备核心机型已进入多家头部客户开展工艺验证先进封装、晶圆级加工
边缘抛光装备核心机型进入多家头部客户开展工艺验证先进制程晶圆边缘处理
湿法装备多台清洗设备完成验证并确认收入,SDS/CDS供液系统获客户批量采购大硅片、化合物半导体清洗

🔬 核心技术:CMP装备为基石

公司始终坚持以技术创新为核心驱动力,CMP装备的先进性、稳定性、可靠性深受客户认可。国内主流的12英寸晶圆厂、存储大厂以及先进封装产线已导入公司CMP装备。截至2025年末,公司累计拥有国内外授权专利569项、软件著作权50项,形成覆盖全面、壁垒坚实的知识产权体系

CMP装备是公司核心产品,先进制程机型出货量增长显著,部分高端机型已在头部客户HBM、3D堆叠等先进封装工艺产线上作为基准设备导入。公司还成功研发出采用叠层布局架构的全新CMP机台Universal-S300以及面向先进封装、玻璃基板等领域面板CMP产品Master-P510和Master-P510APEX


🌍 客户与市场地位

公司深耕半导体设备领域多年,构建了覆盖国内主流集成电路制造企业的客户网络,客户覆盖中芯国际、华虹集团、长江存储等先进集成电路制造厂商

在市场份额方面,据SEMI数据推算,2024年全球CMP市场规模约30.2亿美元,预计2027年将突破40亿美元。在国内市场,公司占据国产CMP装备销售90%以上份额,实现了国内主流集成电路制造产线全覆盖。公司部分产能已被核心客户提前锁定,存储及逻辑订单占比较大


🏗️ 产能布局

公司持续完善全国产能网络,强化装备供给与服务能力:

产能项目区位规划规模当前进展
上海集成电路装备研发制造基地上海市浦东新区洁净厂房、自动化库房、测试实验室拟投资16.98亿元,2026年启动建设
晶圆再生(天津基地)天津市20万片/月已满产
晶圆再生(昆山基地)江苏省昆山市规划总产能40万片/月首期20万片/月建设中
CMP装备产能储备全国随订单需求灵活调配满足快速交付需求

🔭 战略方向

1. 深化平台化战略布局

公司以“装备+服务”双轮驱动,持续推进CMP、减薄、离子注入、划切、边抛、湿法装备的技术升级与规模化量产。重点研发更高产能、更低成本、工艺指标更优的高端机型,在先进制程芯片、HBM、CoWoS等应用场景持续提升市场占有率

2. 并购整合与产品矩阵延伸

公司通过收购芯嵛公司切入离子注入领域,实现12英寸大束流系列型号全覆盖,中束流系列取得阶段性进展。未来将持续扩大在先进封装领域的产品覆盖,打造3DIC全流程解决方案。

3. 做强服务类业务

依托自有的CMP技术与自产关键设备,公司同步做强关键耗材、维保服务与晶圆再生业务。服务类业务具备高毛利、高粘性特征,通过长期服务沉淀客户信任,进一步反哺设备销售

4. 深化国际化进程

2026年,公司拟通过向特定对象发行A股股票募集不超过40亿元,投向上海集成电路装备研发制造基地、晶圆再生扩产及高端半导体装备研发三大项目,全面强化核心技术布局与产能供给,助力半导体装备国产化进程提速


📋 公司关键信息一览

关键信息内容
公司全称华海清科股份有限公司
股票代码688120.SH(科创板)
成立日期2013年4月10日
上市日期2022年6月8日
法定代表人/董事长/总经理王同庆
注册地址天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号
所属行业半导体设备
主营领域半导体专用装备的研发、生产、销售及技术服务
核心产品CMP装备、减薄装备、离子注入装备、划切装备、边缘抛光装备、湿法装备、晶圆再生、关键耗材及维保服务
员工人数2654人
电话022-59781962
邮箱ir@hwatsing.com